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嘉 芯 半 导 体 首 页 关 于 我 们 公 司 产 品 自 研 主 工 艺 设 备 自 研 附 属 设 备 翻 新 设 备 新 闻 中 心 加 入 我 们 社 会 招 聘 校 园 招 聘 企 业 文 化 E N 打 造 集 成 电 路 设 备 龙 头 企 业 嘉 芯 半 导 体 聚 焦 半 导 体 前 道 设 备 领 域 ， 借 助 股 东 强 大 的 投 资 影 响 力 和 行 业 号 召 力 聚 集 一 批 有 梦 想 、 有 热 情 、 有 能 力 和 敢 创 新 的 团 队 ， 打 造 多 种 主 制 程 的 核 心 设 备 打 造 集 成 电 路 设 备 龙 头 企 业 嘉 芯 半 导 体 聚 焦 半 导 体 前 道 设 备 领 域 ， 借 助 股 东 强 大 的 投 资 影 响 力 和 行 业 号 召 力 聚 集 一 批 有 梦 想 、 有 热 情 、 有 能 力 和 敢 创 新 的 团 队 ， 打 造 多 种 主 制 程 的 核 心 设 备 公 司 产 品 嘉 芯 迦 能 P H O E B U S P V D 嘉 芯 迦 能 自 主 研 发 的 P H O E B U S P V D 系 统 是 一 种 全 自 动 集 群 式 P V D （ 物 理 气 相 沉 积 ） 设 计 用 于 容 纳 多 个 沉 积 室 的 系 统 ， 能 够 精 确 控 制 过 程 并 进 行 高 水 平 通 过 创 造 超 高 真 空 （ 1 0 E 8 t o r r ） 的 环 境 并 控 制 各 种 变 量 过 程 ， 采 用 真 空 溅 射 薄 膜 沉 积 工 艺 。 应 用 于 半 导 体 8 吋 晶 圆 金 属 薄 膜 的 沉 积 ， 通 过 离 子 轰 击 金 属 靶 材 ， 使 其 沿 着 一 定 方 向 脱 落 沉 积 于 衬 底 上 。 例 如 A l , C u , T i , T i N , T a 等 金 属 薄 膜 工 艺 。 其 主 流 的 工 艺 腔 体 对 接 设 计 ， 可 以 增 加 用 户 选 择 的 灵 活 性 ， 可 根 据 工 艺 需 求 来 选 择 不 同 配 置 的 腔 体 。 了 解 更 多 公 司 产 品 嘉 芯 迦 能 P X 6 0 0 N T S P X 6 0 0 N T S 等 离 子 分 解 水 洗 设 备 ， 是 ㇐ 台 能 够 分 解 半 导 体 制 程 中 所 产 生 的 有 毒 气 体 。 在 半 导 体 制 程 中 所 使 用 的 气 体 或 在 制 程 中 所 产 生 出 来 的 气 体 多 半 为 有 毒 气 体 ， 因 此 必 须 将 那 些 气 体 利 用 热 分 解 及 洗 涤 的 方 式 将 其 分 解 后 才 可 排 出 到 空 气 中 。 在 半 导 体 制 程 中 会 排 出 很 多 不 同 的 气 体 , 而 这 些 各 式 各 样 的 气 体 应 经 过 适 当 的 分 解 处 里 。 了 解 更 多 新 闻 中 心 为 您 提 供 第 一 手 资 讯 先 导 科 技 集 团 董 事 长 朱 世 会 先 生 接 任 嘉 芯 半 导 体 控 股 股 东 万 业 企 业 总 裁 引 领 公 司 “ 芯 ” 征 程 查 看 更 多 > 嘉 芯 半 导 体 控 股 股 东 万 业 企 业 迎 来 战 略 新 实 控 人 ， 先 导 科 技 集 团 强 势 赋 能 半 导 体 产 业 发 展 查 看 更 多 > 共 话 产 业 “ 芯 ” 趋 势 ！ 上 上 协 秘 书 长 袁 艺 等 一 行 参 加 “ 走 进 嘉 芯 半 导 体 ” 活 动 查 看 更 多 > 更 多 新 闻 中 心 点 击 查 看 > 关 于 我 们 嘉 芯 半 导 体 嘉 芯 半 导 体 成 立 于 2 0 2 1 年 4 月 ， 是 一 家 在 各 级 政 府 大 力 支 持 下 ， 由 知 名 上 市 公 司 万 业 企 业 （ S H 6 0 0 6 4 1 ） 和 国 际 顶 级 技 术 团 队 联 合 创 办 的 集 成 电 路 前 道 设 备 的 平 台 型 公 司 。 公 司 控 股 股 东 万 业 企 业 专 注 于 开 拓 国 内 集 成 电 路 设 备 领 域 市 场 ， 近 年 来 通 过 “ 外 延 并 购 + 产 业 整 合 ” 双 轮 驱 动 ， 陆 续 收 购 凯 世 通 、 C o m p a r t S y s t e m s ， 并 成 立 嘉 芯 半 导 体 ， 打 造 “ 1 + N ” 设 备 平 台 战 略 ， 持 续 加 大 集 成 电 路 在 公 司 整 体 业 务 中 的 比 重 。 目 前 ， 嘉 芯 半 导 体 旗 下 拥 有 嘉 芯 迦 能 子 公 司 、 嘉 芯 禾 凯 子 公 司 和 新 产 品 研 发 部 等 ， 已 形 成 多 个 半 导 体 前 道 核 心 设 备 产 品 线 ， 业 务 覆 盖 刻 蚀 、 薄 膜 沉 积 、 快 速 热 处 理 等 多 类 主 制 程 设 备 以 及 尾 气 处 理 等 支 撑 制 程 设 备 。 未 来 ， 公 司 将 继 续 拓 展 相 关 业 务 部 门 ， 为 公 司 与 产 业 发 展 注 入 更 多 活 力 。 © 2 0 2 3 嘉 芯 半 导 体 设 备 科 技 有 限 公 司 版 权 所 有 沪 I C P 备 1 8 0 2 6 0 2 4 号 关 于 我 们 新 闻 中 心 加 入 我 们 产 品 线 沪 I C P 备 1 4 6 7 8 9 0 3 7 号 版 权 所 有 2 0 2 3 嘉 芯 半 导 体 设 备 科 技 有 限 公 司

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